1、局部排風
各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程不可避免地將會有各類粉塵、有害氣體、有害物質的排出，防止它們在潔凈室內(nèi)擴散、污染的有效方法是在相關設備處采取局部排風方式經(jīng)處理達標后排至室外。對于如下情況的局排系統(tǒng)應獨立設置。
（1）排風介質混合后能產(chǎn)生加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性；
（2）排風介質中有毒與無毒，毒性相差很大；
（3）易燃、易爆與一般排風；
（4）潔凈室的排風系統(tǒng)設計時，應采取下列技術措施。
為防止室外的氣流倒灌流入室內(nèi)，引起污染和積塵，常用防倒灌措施：設置中效過濾器；采用止回閥，使用方便但密封性較差；采用密閉閥、密封性好，但結構復雜；采用自控裝置等。
（1）含有易燃、易爆局部排風系統(tǒng)應采用與排出物質相適應的防火、防爆措施；
（2）排風介質中有害濃度及排放量超過國家或地區(qū)有害物排放濃度及排放量規(guī)定時應進行無害化處理，達標后才能排入大氣；
（3）對含有水蒸汽和凝結性物質的排風系統(tǒng)，應設坡度及排放口，以即時排除凝結液。
潔凈廠房內(nèi)的換鞋、存外衣、盥洗、廁所和沐浴等生產(chǎn)輔助房間，應采取通風措施，其室內(nèi)的靜壓值，應低于潔凈區(qū)。
潔凈室應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置事故排風系統(tǒng)。事故排風系統(tǒng)應設自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點。一般對于有可能散發(fā)有害氣體或易燃易爆氣體的潔凈室（區(qū)）應設事故排風裝置。
排風系統(tǒng)的設備、管道和附件的制作材料、保溫材料、涂料，應根據(jù)排出的氣體性質、狀態(tài)等條件選用合適的材質，通常應符合下列要求。
（1）排風系統(tǒng)的風管應采用不燃材料。這里所指的不燃材料是各種類型的金屬板材，包括碳鋼、不銹鋼、有色金屬板材，具有選用應按排氣的性質確定；
（2）排除腐蝕性氣體的風管，應采用耐腐蝕的難燒材料。這里所指的難燒材料主要是氧指數(shù)等于大于32的玻璃鋼等；
（3）附件、保溫材料、消聲材料和涂料等均采用不燃材料或難燃材料。這里所指的不燃材料主要是巖棉、玻璃棉等；難燃材料主要是氧指數(shù)大于等于32的橡塑海綿、聚氨脂等。
2、潔凈室的防排煙設計
潔凈廠房是密閉無窗或設固定窗的房間，設置防排煙系統(tǒng)是確保人員疏散的必要方法之一。在《潔凈廠房設計規(guī)定》（GB50073-2001）第6.5.7條中規(guī)定：潔凈廠房疏散走廊，應設置機械防排煙設施。現(xiàn)摘錄《建筑設計防火規(guī)范》的修訂稿草案中的有關規(guī)定，供參考。排煙量的確定，設置機械排煙設施的場所，其排煙風機的排煙量，當擔負一個防煙區(qū)排煙時，應不小于60m3/h/m2計算排煙量；擔負兩個或兩個以上防煙分區(qū)的排煙系統(tǒng)時，應按zui大的防煙分區(qū)的面積不小于120 m3/h/m2計算排煙量。單臺排煙風機的zui小排煙量不應小于7200 m3/h。排煙風機的選型，排煙風機可采用離心機或排煙風機，風量應考慮10%—20%的漏風量，風壓應滿足排煙系統(tǒng)zui不利環(huán)路的要求。在風機入口總管上，設置當煙氣溫度超過280℃能自動關閉的防火閥，且應與排煙風機連鎖。
排煙口的設置，排煙口或排煙閥應設置在頂棚內(nèi)的墻面上，且與鄰近安全出口相鄰邊緣之間的水平距離不應小于1.5m，距可燃物體的距離不應小于1.0m；排煙口或排煙閥平時應關閉，并應設手動或自動開啟裝置，排煙口與該防煙分區(qū)內(nèi)zui遠的水平距離不應超過300m。